MKS壓力傳感器質量流量計 INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處，美*機儀器MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發(fā)生器及真空技術，其產(chǎn)品廣泛地應用于各種半導體生產(chǎn)設備和制造過程中。美*機儀器MKS INSTRUMENTS在現(xiàn)貨的主要合作伙伴有AMEC、NMC、SMIC、HYNIX等，產(chǎn)品針對300MM半導體市場；而美*機儀器MKS INSTRUMENTS的半導體設備零部件的研發(fā)和制造也主要針對300MM半導體工藝要求。同時，美*機儀器MKS INSTRUMENTS還在積極開發(fā)太陽能、環(huán)境工程和玻璃鍍膜等快速發(fā)展的市場。美*機儀器MKS INSTRUMENTS電源、測量、控制和復雜氣體相關的工藝監(jiān)控技術等改善了設備的完好率和產(chǎn)品成品率，提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能，美*機儀器MKS INSTRUMENTS目前產(chǎn)品主要包括：壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數(shù)字壓力控制儀器和閥等提供半導體工藝上、下游壓力控制設備；質量流量控制器測量和控制半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業(yè)提供了可靠的固態(tài)電源；ASTEXI系列產(chǎn)品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發(fā)生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態(tài)和LIQUOZON液態(tài)臭氧發(fā)生器；另外美*機儀器MKS INSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產(chǎn)品、氣體分析儀、靜電控制、控制及信息技術等系列解決方案。
2006年，美*機儀器MKS INSTRUMENTS完成了對ION SYSTEMS、UMETRICS和NOVX的三樁收購，大大擴展了其制程控制產(chǎn)品系列和提升了其市場競爭力。隨著現(xiàn)貨本土半導體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，國外芯片設備供應商紛紛淘金于現(xiàn)貨大陸，而本土制造廠的崛起也為零配件供應商帶來了更大的契機。在2006年度美*機儀器MKS INSTRUMENTS營業(yè)額達到7.83億美元。
MKS壓力傳感器質量流量計型號如下：
120AA-00010RAJ 120AA-00010RBJ 120AA-00010RCJ 120AA-00100RAJ 120AA-00100RBJ 120AA-00100RCJ
120AA-01000RAJ 120AA-01000RBJ 120AA-01000RCJ 120AD-00001RAU 120AD-00001RBU 120AD-00001RCU
120AD-00001RDB 120AD-00001REB 120AD-00010RAU 120AD-00010RBU 120AD-00010RCU 120AD-00010RDB
120AD-00010REB 120AD-00100RAU 120AD-00100RBU 120AD-00100RCU 120AD-00100RDB 120AD-00100REB
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